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产品详细
| 测量方向 | ±X ±Y +Z | |
| 重复精度（2σ） | 0.3um以下（带10mm测针）0.4um以下（带50mm测针） | |
| 方向性（XY：2D） | ±0.4um以下（带10mm测针），±0.8um以下（带50mm测针） | |
| 方向性（XYZ：3D） | ±0.65um以下（带10mm测针），±1um以下（带50mm测针） | |
| 测力 | XY | 0.02N（标准/低测力）使用50mm测针 |
| Z | 0.07N（标准/低测力）使用50mm测针 | |
| 超程范围 | XY | ±14° |
| Z |
+4.5mm(带0.07N） +3mm(带0.15N) |
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| 超程测力 | XY |
0.35N(标准测力） 0.1N（低测力） |
| Z |
4N(标准测力） 1N（低测力） |
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| 最大测针长度 | 70mm(标准测力） 30mm(低测力） | |
| 最大测针质量 | 8g(标准测力），3g(低测力） | |
| 测针安装方法 | M2螺纹 | |
| 单个装置的质量 | 22g | |
| 耐久性 | 1.000.000次 | |
| 测座 | 必需：PH10M/PH10MQ/MIH/PH1 | |
| 适用的型号 | 手动/CNC三坐标测量机 | |
| 注 | 任何小于Ф1mm的测针应与低测力模块一起使用 | |
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